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氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于真空滲碳爐檢漏方法

一、應(yīng)用于真空滲碳爐檢漏原因
真空滲碳爐 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精機(jī)(shinko seiki)羅茨泵機(jī)組(SR-75BⅡ+ SMB-C15) 抽真空,要求真空度需要到達(dá) 1x10-3 mbar 左右真空環(huán)境下才能有效工作,
由于滲碳處理需要溫度大約900℃ 下進(jìn)行,如果密封不好的話工件很容易氧化,造成整爐的工件保費(fèi),損失巨大。所以真空滲碳爐的密封性非常重要,檢漏非常關(guān)鍵。
二、應(yīng)用于真空滲碳爐檢漏方法
Pfeiffer HLT560 氦質(zhì)譜檢漏儀 提供兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正壓模式 (sniffer mode),真空滲碳爐多采用檢漏儀的負(fù)壓模式既真空模式檢漏,將 氦質(zhì)譜檢漏儀 與真空系統(tǒng)連接,*好連接在排氣口附近(也就是真空泵組的進(jìn)氣口處),真空系統(tǒng)都會(huì)有泵組在抽真空,所以在泵的進(jìn)氣口處連接氦質(zhì)譜檢漏儀是在氣流的流向上,很容易有一部分分壓分給 氦質(zhì)譜檢漏儀 ,從而達(dá)到檢漏的效果。
Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 連接在機(jī)械泵組的進(jìn)氣口處,首先啟動(dòng)泵組,對(duì)滲碳爐抽真空,同時(shí)啟動(dòng) 氦質(zhì)譜檢漏儀 ,此時(shí)質(zhì)譜檢漏儀上面的 Pfeiffer EVB 025 角閥一定處于關(guān)閉狀態(tài),當(dāng)泵組抽真空到達(dá)一定真空度(*高背壓為 25 mbar業(yè)界*高)時(shí),可以進(jìn)行檢漏操作。
檢漏工作準(zhǔn)備就緒,泵組抽真空到達(dá)一定真空度后,氦質(zhì)譜檢漏儀為待機(jī)狀態(tài),EVB 025 角閥處于關(guān)閉狀態(tài),此時(shí)可以按下檢漏儀啟動(dòng)鍵,氦質(zhì)譜檢漏儀開(kāi)始測(cè)漏,然后慢慢開(kāi)啟角閥,觀察漏率值的變化,由于檢漏儀和真空滲碳爐的腔體聯(lián)通,有真空度的變化,所以漏率值也會(huì)產(chǎn)生變化,等到漏率值平穩(wěn),再將角閥慢慢開(kāi)到*大,等待數(shù)值穩(wěn)定,可以噴氦氣進(jìn)行檢漏。
當(dāng)噴氦氣后 氦質(zhì)譜檢漏儀 顯示漏率值超過(guò)設(shè)定值,并且有明顯的報(bào)警聲音,表明此處有漏點(diǎn),然后在漏電處做標(biāo)記,在進(jìn)行其他部位的檢漏。 
當(dāng)檢測(cè)中找到漏電后,由于有氦氣進(jìn)入真空系統(tǒng),所以漏率值會(huì)緩慢上升,為了更快速檢測(cè)下一個(gè)漏電,可以按下顯示屏左下方的 ZERO 鍵,對(duì)檢漏儀進(jìn)行本底清零,隨即可以查找下一個(gè)漏點(diǎn),達(dá)到節(jié)省時(shí)間的效果。

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