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產(chǎn)品列表

產(chǎn)品圖片	產(chǎn)品名稱(chēng)/型號(hào)	產(chǎn)品簡(jiǎn)單介紹
	MKS電源-直流/脈沖功率電源	ENI直流/脈沖電源主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，光電器件，磁盤(pán)，平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。
	MKS電源-射頻功率電源	ENI提供高可靠性的固態(tài)電源，其頻率從2MHz到60MHz，功率從3百瓦到13千瓦，還可選自動(dòng)頻率跳鞋，廣泛應(yīng)用于Etch，CVD和PVD等工藝。
	MKS電源-等離子體電源	ASTeX 遠(yuǎn)程等離子體電源適用于氧氣，氮?dú)猓瑲錃?，水汽等氣體，廣泛應(yīng)用于CVD，ETCH，去膠等晶圓工藝。

產(chǎn)品目錄

真空設(shè)備研發(fā)制造

普發(fā)真空系列產(chǎn)品

MKS系列產(chǎn)品

inficon系列產(chǎn)品

EBARA真空泵（EBARA Vacuum Pump)

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