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產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

MKS電源-射頻功率電源

]資料
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: MKS電源-射頻功率電源
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: MKS電源
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔


簡單介紹

ENI提供高可靠性的固態(tài)電源,其頻率從2MHz到60MHz,功率從3百瓦到13千瓦,還可選自動頻率跳鞋,廣泛應(yīng)用于Etch,CVD和PVD等工藝。

MKS電源-射頻功率電源的詳細(xì)介紹

中頻射頻功率電源(2MHz)


  • NOVA系列,功率為2和5千瓦,自動頻率調(diào)諧可選。
  • Spectrum 系列,功率為5和11千萬,自動頻率調(diào)諧可選。

高頻射頻功率電源(13.56MHz)


  • elite系列風(fēng)冷電源,功率為300,600和750瓦。
  • GHW系列電源,功率為1.25,2.5和5千瓦,自動頻率調(diào)諧可選。
  • Spectrum 系列電源,功率為3千瓦,自動頻率調(diào)諧可選。
  • SurePower系列電源,功率為3.5,5.5,6.5,10.5和13千瓦,自動頻率調(diào)諧可選。

超高頻射頻功率電源(40.68-60MHz)


  • GEW系列電源,功率為3.5和5千瓦,40.68MHz自動頻率調(diào)諧可選。
  • LVF系列電源,功率為3.5千瓦,60MHz,自動頻率調(diào)諧可選。




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